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              富士金Fujikin流量計

              富士金Fujikin 質量流量控制器

              產品分類:富士金Fujikin流量計

              產品介紹

              富士金氣體質量流量計T1000系列
              具有高精度、快速響應、價格低廉、零漂低等特點。不僅滿足半導體、微電子、玻璃鍍膜、陽能電池等行業,還可以滿足鋼廠、電廠、石化等行業的要求
              規格參數
              1. 多氣體多量程(MG/MR)功能
              2. 可在客戶端簡單打盾進行氣體種類/流量變更,從10sccm至50slm
              3. 高精度:±1%S.P.(100-25%),±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保證范圍15-35℃)
              4. 再現性:±0.2% F.S
              5. 強耐腐蝕性
              6. 輸入輸出信號:模擬(0-5VDC)/RS-485、Device Net
              7. 全量程范圍、響應速度快,≤1sec
              8. 密封材質:金屬密封/橡膠密封
              9. 閥門種類:NO常開NC常閉型
              10. ***大動作壓力:400kPaG(Ar:500kPaG)
              11. 耐壓:1MPa
              12. 使用溫度:5-50℃
              13. 金屬密封外部泄漏率:1 x 10 -11 Pa&﹟8226;m3/sec He
              14. 橡膠密封外部泄漏率:1 x 10 -7 Pa&﹟8226;m3/sec He
              15. 材質:SS316L不銹鋼
              16. 接口方式:1/4vcr金屬面密封連接,卡套連接

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